您当前所在的位置:
GB/T 14601-2009
中文名称：电子工业用气体 氨
英文名称：Gas for electronic industry-Ammonia
| 中国标准分类(CCS)： | G86 |
| 国际标准分类(ICS)： | 71.100.20 |
| 发布日期： | 2009-10-30 |
| 实施日期： | 2010-05-01 |
| 页数： | 10 |
| 标准状态： | 即将作废 |
| 标引依据： | 国家标准批准发布公告2009年第12号(总第152号) |
| 点击数： | 150 |
| 废止日期： | 2025-10-01 |
| 适用范围： | 本标准规定了氨的技术要求，试验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。 本标准适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。 |
浙公网安备 33020902000221号
