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GB/T 4060-2007

标准预览

中文名称：硅多晶真空区熔基硼检验方法

英文名称：Polycrystalline silicon--Examination method--Vacuum zone-melting on boron

中国标准分类(CCS)：	H17
国际标准分类(ICS)：	77.040.01
发布日期：	2007-09-11
实施日期：	2008-02-01
页数：	7
标准状态：	作废
点击数：	259
废止日期：	2019-06-01
适用范围：	本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基硼的检验。本标准检测杂质浓度有效范围：0．002 X 10-9～100X 10-9。

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