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GB/T 1557-2006

标准预览

中文名称：硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

英文名称：The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption

中国标准分类(CCS)：	H17
国际标准分类(ICS)：	77.040.01
发布日期：	2006-07-18
实施日期：	2006-11-01
页数：	8
标准状态：	作废
点击数：	319
废止日期：	2019-06-01
适用范围：	本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω•cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω•cm的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。本标准测量氧含量的有效范围从1×10的16次方at/cm3到硅中间隙氧的最大固溶度。

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